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Opto-Mechanics, Positioners etc.
Opto-Mechanik, Positioner etc.

Physik Instrumente / PI
M510.12



Der motorisch angetriebene Präzisions-Lineartisch Typ M-510.12 von Physik Instrumente erfüllt höchste Anforderungen an die Positioniergenauigkeit. Sein äußerst kompakter Aufbau aus entspanntem, gefrästem Aluminium erlaubt leichte Mehrachsenkombinationen mit hervorragender Stabilität. Vorgespannte, geschliffene Kugelumlaufspindeln (höhere Genauigkeit als gerollte Spindeln) ermöglichen eine spielfreie Positionierung mit minimaler Reibung. Der Tisch erreicht durch exakt ausgerichtete Präzisions-Kugelumlaufführungen eine Führungsgenauigkeit von 1 µm/100 mm.

Technische Eigenschaften:
  • Stellweg: 100 mm
  • Auflösung: < 0,5 µm
  • Höchste Stabilität durch Aufbau aus entspanntem Aluminium
  • Spielfreie Kugelumlaufspindeln
  • Integrierte Endschalter
  • Hohe Belastbarkeit von 100 kg
    Anwendungsbeispiele:
  • Qualitätskontrolle, Halbleiter-Testausrüstung, Metrologie, Festplatten-Laufwerktests, F u. E
  • Ein 3-Watt DC-Motor mit optischem Drehencoder (2000 Imp./Umdrehung) treibt die Spindel über ein spielfreies Getriebe der Untersetzung 29,6:1 an. Die kleinste Schrittweite liegt bei 0,05 µm, die maximale Geschwindigkeit bei 3 mm/s.


Ein Datenblatt zu diesem Artikel finden Sie hier.
Eine vergrößerte Abbildung befindet sich hier.

English translation of German description:
Low-profile, high-resolution Precision Translation Stage made by Physik Instrumente with ballscrew drive modell M-510.12 is designed to meet demanding positioning requirements. The stage combines a functional flat design to allow multiaxis combinations and feature a precision machined base from high-density, stressrelieved aluminium for exceptional stability and minimum weight. Precision ground recirculating ballscrews (better accuracy than rolled ballscrews) with preloaded nuts provide low friction, backlash free positioning. High precision linear guiding rails with recirculating ball bearings guarantee 1 Ám/100 mm straightness and flatness.
Ideal suited for applications like photonics packaging, quality control, semiconductor test equipment, metrology, disk drive test assemblies or R&D.

Technical features:
  • Travel range: 100 mm
  • Resolution: 0.5 mm
  • Stress-relieved aluminium stage base for highest stability
  • Zero-backlash recirculating ballscrew
  • Standard limit switches
  • Load capacity: 100 kg
  • A 3 W DC motor with zero backlash gearhead and shaft mounted 2000 counts/revolution optical encoder is used. The gear ratio is 29.6:1, providing minimum incremental motion of 0.05 Ám and maximum velocity of 3 mm/sec.


Please find a corresponding data sheet here.
Please find an enlarged image here.


Physik Instrumente / PI M510.12

Maße/ Dimensions : 110mm (B/W) x 40mm (H/H) x 330mm (T/D)
Gewicht/ Weight: 2,4 kg



Grundgeprüft / Basically tested:   946,05 INKLUSIV MWST / 795,00 NETTO (appr. US$ .-)


Ref. #: 1308049089 Physik Instrumente / PI M510.12
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